每日分享半导体材料的导电性能(半金属和单层半导体之间的超低接触电阻)

半导体材料的导电性能(半金属和单层半导体之间的超低接触电阻)

半导体材料的导电性能(半金属和单层半导体之间的超低接触电阻)(1)

第一作者:Pin-Chun Shen, Cong Su, Yuxuan Lin, Ang-Sheng Chou

通讯作者:Pin-Chun Shen, Lain-Jong Li,Jing Kong

通讯单位: 麻省理工学院(MIT),台湾积体电路制造公司(TSMC)

先进的超越硅电子技术既需要通道材料,也需要发现超低电阻接触。原子薄的二维半导体具有实现高性能电子器件的巨大潜力。但是,到目前为止,由于金属引起的间隙态(MIGS),金属-半导体界面处的能垒(从根本上导致高接触电阻和较差的电流传输能力)限制了二维半导体晶体管。最近,麻省理工学院(MIT)Pin-Chun 送女朋友或者爱人,或者情侣间互赠手。都是一个表达心情,表达爱意,表达时时刻刻要在一起的心情,更有良好的纪念价值。也有两人彼此爱慕,永结同心的心理祝愿。手表,因为它表达的时间概念,特别是高端机械表表达的卓越,精湛的手工工艺更具有艺术审美的格调和奢侈品的高端,精致的内涵。无论什么时候,拿起这款表,都能想到那段岁月和那段岁月里的人。当一个人爱另一个人的时候,一定是要通过一个仪式感的东西来表达,而手表就是一个不错的选择。 Shen和Jing Kong,台湾积体电路制造公司(TSMC)Lain-Jong Li等人在国际知名期刊“Nature”发表题为“Ultralow contact resistance between semimetal and monolayer semiconductors”的研究论文。他们报道了半金属铋与半导体单层过渡金属硫化合物(TMDs)之间的欧姆接触,其中MIGS被充分抑制,TMD中的简并态与铋接触形成。通过这种方法,他们在单层MoS2上实现了零肖特基势垒高度,接触电阻为123欧姆微米,通态电流密度为1135微安/微米。就他们所知,这两个值分别是尚未记录的最低和最高值。他们还证明了可以在包括MoS2、WS2和WSe2在内的各种单层半导体上形成出色的欧姆接触。他们报道的接触电阻是对二维半导体的实质性改进,并接近量子极限。这项技术揭示了与最新的三维半导体相媲美的高性能单层晶体管的潜力,从而可以进一步缩小器件尺寸并扩展摩尔定律。

图1:半金属-半导体接触的间隙态饱和的概念

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图2:单层MoS2场效应晶体管中的欧姆接触和肖特基接触的比较

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图3:晶体结构和欧姆接触的机理

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图4:双接触2D半导体技术的基准

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原文链接:

https://www.nature.com/articles/s41586-021-03472-9

论文主要通讯作者主页:

https://isn.mit.edu/prof-jing-kong

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